Logitech PM6型精密拋光機(jī)，具體功能特點(diǎn)如下：

晶圓研磨機(jī)控制系統(tǒng)

PM6系統(tǒng)通過創(chuàng)新的設(shè)計(jì)和直觀的操作控制，突出了對(duì)工藝過程的可控拋光的所有功能和操作均通過觸摸屏電腦操作界面進(jìn)行，一個(gè)完整的菜單設(shè)置和工藝選項(xiàng)清晰顯示屏幕上，使得工藝存儲(chǔ)及調(diào)用操作更為便捷。

PM6系統(tǒng)提供拋光盤的速度，定時(shí)，以及擺幅等功能均可以通過操作界面設(shè)置和控制，機(jī)器運(yùn)行中計(jì)時(shí)器開始工作，在無人看管時(shí)可以設(shè)定計(jì)時(shí)器，在處理材料完成時(shí)機(jī)器會(huì)被停止，控制系統(tǒng)會(huì)在向操作員發(fā)出提醒。

PM6系統(tǒng)設(shè)有輔助驅(qū)動(dòng)夾具擺臂，加快研磨拋光速率，提高精度和工藝重復(fù)性。

直觀的操作控制系統(tǒng)

快速、高效的研磨/拋光盤，便于拆卸，方便用戶在不同的研磨和拋光過程之間的快速轉(zhuǎn)換。這種靈活性使PM6系統(tǒng)成為實(shí)驗(yàn)室空間有限的情況下的選擇。

晶圓研磨機(jī)主機(jī)整體防腐蝕設(shè)計(jì)，系統(tǒng)可以在腐蝕性環(huán)境下工作。