DL82 精密研磨拋光系統(tǒng) DL81 和 DL82 是高精度研磨拋光系統(tǒng)，其中 DL82 配備兩個自動工位，而 DL81 則由一個自動工位和一個手動工位組成。兩款設(shè)備均支持 700 mm 研磨盤 和 兩個高精度氣動夾具，可處理最大 8 英寸（200 mm）夾具固定樣品，或最大 12 英寸（300 mm）非夾具自由研磨樣品?？烧{(diào)式氣動夾具載荷范圍為 2–40 kg（可選 47 kg），并由軟件控制，同時配備原位載荷傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動校準(zhǔn)。藍(lán)牙連接的盤面平整度控制和實(shí)時厚度反饋確保了加工精度。

DL82 精密研磨拋光系統(tǒng) 自動夾具搬運(yùn)系統(tǒng)可防止樣品過度加工，而服務(wù)提升裝置則有助于安全搬運(yùn)研磨盤和夾具。設(shè)備配備 12 英寸觸摸屏，并支持 USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出，操作更加便捷。通過 4 個 3.8 升液體供給筒，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)多階段工藝處理；計量式磨料供給系統(tǒng)（5–100 ml/min）則提高了工藝效率。密封式腔體支持危險材料加工，并帶有排氣接口用于外接抽排。實(shí)時監(jiān)控、配方模式、EtherCAT 診斷功能以及三色狀態(tài)燈塔進(jìn)一步提升了設(shè)備的控制性與重復(fù)性。